多项电子气体国标发布，主要涉及氦离子化气相色谱法

2024年上半年，国家标准委颁布了5项电子气体国家标准：GB/T 43771-2024《电子气体 一氧化碳 》，GB/T 43772-2024《电子气体 二氧化碳》和GB/T 43773-2024《电子气体 羰基硫》于2024年3月15日颁布，2024年10月1日 起正式实施。GB/T 43976-2024 《电子气体 四氟甲烷》和GB/T 43977-2024《电子气体 八氟环丁烷》于 2024年4月25日颁布，2024年11月1日 起正式实施。

电子气体是半导体工业中使用的关键材料，其质量和纯度直接影响芯片制造的效率和成品率。电子气在蚀刻、沉积、清洗等半导体制造工艺中起着至关重要的作用。电子气不仅是半导体制造的基础保障，更是推动科技进步和行业发展的关键力量。其应用范围广泛，包括晶圆制造、显示器生产和太阳能电池等领域，支撑着众多高科技产业的发展。

电子气体的质量和纯度检测主要采用气相色谱等分析仪器。

GB/T 43773-2024《电子气体 羰基硫》

标准规定按照 GB/T 28726《气体分析-氦离子化气相色谱法》规定的切割进样的方法测定羰基硫中氢、氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、硫化氢、二氧化硫、二硫化碳含量。

GB/T 43976-2024 《电子气体 四氟甲烷》

标准规定按照 GB/T 28726《气体分析-氦离子化气相色谱法》规定的切割（除）进样的方法测定四氟甲烷中氢、氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟化硫、六氟乙烷、八氟丙烷、三氟一氯甲烷、三氟甲烷含量。

GB/T 43977-2024《电子气体 八氟环丁烷》

标准规定按照 GB/T 28726《气体分析-氦离子化气相色谱法》规定的切割（除）进样的方法测定八氟环丁烷中的氧＋氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、六氟丙烯含量。

GB/T 43771-2024《电子气体 一氧化碳 》

标准规定按照 GB/T 28726《气体分析-氦离子化气相色谱法》规定的方法测定一氧化碳中的氢、氧＋氩、氮、二氧化碳含量。

GB/T 43772-2024《电子气体 二氧化碳》

标准规定按照 GB/T 28726《气体分析-氦离子化气相色谱法》规定的切割进样的方法测定二氧化碳中的氢、氧＋氩、氮、一氧化碳含量。